真空蒸着

しんくうじょうちゃく【真空蒸着】

真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ， その蒸気を物体表面に薄膜状につけること。 レンズのコーティング， 電子部品や半導体， 集積回路， 光学部品の反射膜など数ナノメートルから数マイクロメートルの膜の形成に利用する。